金屬硅粉的制備方法比較簡單易行，制備原理也很簡單易懂，就是將一定的粗硅粉經過分散后，用惰性氣體送入等離子體弧中，瞬間加熱，使粗的硅粉在比較高溫度下瞬間蒸發成為硅蒸汽，硅蒸汽接著進入冷卻區，被冷凝下來，成為納米級別的金屬硅粉。

化學氣相沉積法：硅烷在熱，微波，激光，等離子體等外界能量的作用下，在高氫稀釋的條件下分解為硅和氫，在氣相環境下快速冷凝，從而制備出納米硅粉。

球磨法：利用機械旋轉及粒子之間的相互作用產生的巨大摩擦力將尺寸較大的硅材料研磨成納米尺寸的粉末。利用球磨法生產的金屬硅粉雜質含量高，粒徑分布不能得到很好控制，后處理比較繁瑣。